物理蒸鍍就是（shì）把物（wù）質加熱揮發，然後（hòu）將其蒸氣沉（chén）積在預（yù）定的基材上。由（yóu）於蒸發源須加熱揮發，又（yòu）是（shì）在真空（kōng）中進行，故（gù）亦（yì）稱為熱蒸鍍或真空蒸鍍。

其可分為三個步驟: 

(1)凝態的物質被加熱揮（huī）發成汽相  
(2)蒸汽在具空中（zhōng）移動一段距離（lí）至基材 
(3)蒸汽在基材上冷卻凝結成薄膜