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鍍膜工藝設計(jì)

作者: 來源: 日期:2020-11-23 11:28:29 人氣:12108

鍍膜工藝之設計應著(zhe)重考慮(lǜ)不同薄膜材料之間需(xū)要不同的沉積工藝,

不同濺射(shè)技(jì)術的實施(直流、中頻、射頻、脈衝、反應濺射(shè),以(yǐ)及它們之間的結合(hé)而發(fā)展的(de)技術,或者(zhě)新技術的應用等(děng)),

同種技術不同工藝參數的調整(功率,氣壓,沉積方(fāng)式等),前處理(清洗(xǐ)、預熱等),後(hòu)處理(熱處理等)。

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