真空蒸(zhēng)鍍之工(gōng)藝對比
作者: 來源: 日期:2020-09-02 11:14:18 人(rén)氣:181513
1. 電阻蒸發源蒸鍍發
A. 加熱:高熔點金屬做成適當形狀蒸發源,電流通過直接加熱。
B. 優點:結構簡單、造價便宜、使(shǐ)用可靠
C. 缺點:所能(néng)到到的最高溫度有限,加熱器壽命較短(duǎn)
D. 適合:熔點不太高,尤其對膜層質量要求(qiú)不大高的大批量生產。
2. 電子束蒸發源蒸鍍(dù)發
A. 蒸發材料放入冷水鉗鍋中(zhōng),利用電子束加熱
B. 優點:獲得(dé)更大能量密(mì)度,使高熔點材料蒸發且速度快,膜的純度較高,熱效率高。
C. 分類:環形槍,直槍(qiāng),e型槍和空(kōng)心陰極槍等幾種。
D. 適合:高熔點,純度要求高的材料。