微信掃一掃 關注（zhù）91巨炮在线观看最新動態！等離子（plasma）是除固體、液體、氣體之外的第四種物質狀態，主（zhǔ）要是由氣體在高（gāo）電磁場作用下（xià）發（fā）生解離，形成一種（zhǒng）包括電子（zǐ）（帶負電（diàn）），正離子（帶正電），自由基和中性氣體分子組成（chéng）的高活（huó）性物質，通產情況下會發光。
一般情況下，等離（lí）子中的正電荷數等（děng）於負電荷（hé）數，所以整體呈電中性（Quasi-neutral）。日常生活中見到的（de）閃電、日光燈、霓（ní）虹（hóng）燈就是等離子體發光現象。
等離子（zǐ）的產（chǎn）生有很多種方法，但（dàn）生（shēng）成和維持（chí）都需要外部能量的（de）輸入。
電子從外加電磁場獲得能量，然後發生非彈性碰撞產生激發（excitation）、解離吸附（fù）（dissociative attachment）、解離（dissociation）、離子化（huà）（ionization）、在結合（recombination）反應，由此產生二次電子、原子、分子、離子等物質，然而在解離碰撞中（zhōng），電子可能與氣體離子有再結合作用，或者因為漂移及擴散而離（lí）開電磁場範圍等原因消失，因此當電子產生（shēng）與消失（shī）的速率相等時，此時的plasma即為穩定狀態。這裏列舉四（sì）種ETCH常（cháng）用產生plasma的方法，後麵會詳解介紹。
三、等離子體的參數 plasma parameters
平均自由路（lù）徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與粒子碰撞（zhuàng）前能夠移（yí）動的平均距（jù）離。MFP與環境壓力P呈反比，壓力（lì）越高，MFP越短，壓力約低，MFP越長（zhǎng），這就是為什麽plasma產生要在低（dī）壓（yā）近似真空（kōng）環境下產生，因為在大氣壓力下（xià）（760Torr），電（diàn）子的MFP很短，很難獲得足夠的（de）能力來使用氣體離子化。