CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜機

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:81762

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

工作原理

CJ係列磁(cí)控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作(zuò)原(yuán)理,所謂“濺射”就是(shì)用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引(yǐn)起物體表麵原子(zǐ)從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電(diàn)磁場,磁場為曲線形,均勻電(diàn)場(chǎng)和對數電場則分別用於平麵靶和(hé)同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生(shēng)碰撞。若電子具(jù)有足夠的能量(約(yuē)為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向(xiàng)陰極(濺射(shè)靶)並以高能(néng)量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射(shè)。 

應用範圍(wéi)

廣泛應用於家電(diàn)電器、鍾表、高爾(ěr)夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩(zhào)、手機按鍵外殼以(yǐ)及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能(néng)塗層,在鍍製(zhì)超黑膜、純金裝飾膜、導電(diàn)膜(mó)等領域(yù)有優勢。

產品特點

1)、膜厚可控性和重複性(xìng)好。能夠可靠的鍍(dù)製預定(dìng)厚度(dù)的薄膜,並(bìng)且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層(céng);
2)、薄膜與基片的(de)附著力(lì)強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注(zhù)入現象,在基片上形成一層濺射(shè)原子與基(jī)片(piàn)原(yuán)子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還(hái)可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高,濺(jiàn)射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝(zhuāng)備低溫離子輔助源(yuán),無需加熱直(zhí)接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。

技術參數(shù)表

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室(shì)尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散泵機組KT500擴散泵機組KT800擴散(sàn)泵機組KT630擴散泵(bèng)機組雙(shuāng)KT630擴散泵機組雙KT630擴散(sàn)泵(bèng)機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜(mó)係統直流或中頻電源、鍍膜輔助(zhù)離子專用電(diàn)源
充氣係統質量(liàng)流量計質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計(jì)
控製方式手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自(zì)動
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實(shí)際工藝要求設計訂做
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