SF係列電子束蒸(zhēng)發光學真空鍍(dù)膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:25005
SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜(mó)機

工作原理

電子束蒸發是(shì)將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材中(zhōng)的原子或分子從表麵汽化逸出後入射(shè)到基片表麵凝結成(chéng)膜。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速(sù)度快,製(zhì)成的薄膜純度高(gāo)。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多的短波通、長波通、增透膜、反(fǎn)射(shè)膜(mó)、濾光膜(mó)、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜(mó)等(děng)各種膜係,能夠實現0-50層(céng)膜的膜係鍍膜,也能滿足如汽車反光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍(dù)膜要求。配置不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合物及(jí)其他高熔點膜(mó)材皆可蒸鍍

產品特點(diǎn)

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜(mó)厚儀(yí),采用PLC與觸摸屏係統聯合(hé)實現對(duì)整個工作過程的自動控製,工作效率和產品質量重複性一致性優良.
2)適用(yòng)於光學領域行業,大規模工業生產要求的廠商使用。

技術(shù)參數表

SF係列電(diàn)子(zǐ)束蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺(chǐ)寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵(bèng)機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組(zǔ)雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴(kuò)散泵機組(zǔ)雙KT630擴(kuò)散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或(huò)霍(huò)爾離子源
充氣係統壓強控製儀
控製方式手動或半自動
膜厚監控係(xì)統石(shí)英晶體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備(bèi)參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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